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iCVD设备（JJ20260083号）延期公告

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北京 -北京 -昌平区

发布时间： 2026年10月21日

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IC 公告

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

iCVD设备	****
2026-10-16 14:57:14	2026-10-23 00:00:00
****


￥489700.00





符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

引发式化学气相沉积（iCVD）设备

台

其他石油和化学工业设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 489700.00

真空沉积腔室为防腐不锈钢材料，盖子材料为石英，从石英盖子一端进气，另外一端抽气。沉积腔体底板水冷，循环冷却水设计，可控制温度。基片尺寸可达6英寸，兼容小尺寸基片。腔体内部，基片台上方设置高温加热单元，采用Ni合金加热(80%Ni+20%Cr)丝, 最高500℃，同时加热腔腔体壁；反应腔内（基片上方）温度均匀性不低于99%, 温度控制精度< ± 3℃；采用触摸屏PLC控制，自动工艺控制软件，工艺参数实时监控。镀膜控制系统采用触摸屏PLC控制，自动工艺控制软件，工艺参数实时监控。并且具备设备互锁功能，保证仪器操作安全；允许用户自由设计薄膜配方。铝合金型材框架，尺寸约为：（长×宽×高）800×700×1300mm；带可固定滑轮；具体尺寸以实物为准。其他包含： 1个高精度数字对流真空计，国产，测量范围为大气压至10-1 Pa；0.5Pa-3.0×103Pa准确度为读数的±30%。接口为KF16。 1个气动充气阀，KF16，国产，**封气动充气阀门，用于真空快速充气。 1个气动闸板阀，KF40，国产，连接真空腔室和真空泵的阀门开关，控制系统的抽气 1个压力控制阀，**，控制工作气压在1~15 Torr 1台鲍斯干泵，IDSP36，极限真空：3Pa，抽速速率：10L/s，满载功率2.0kW，噪音比：72dB（A），重量120kg。 1台循环冷水机，温控范围为5-35摄氏度；冷却水量：8L；水泵功率：85W；水泵流量：15L/min；单体输送系统共5路，包含1路氩气气体与4路单体输送系统。包含： 1个高精度气体质量流量计，国产，量程为300sccm，控制精度为±1%，工作温度为室温。用于控制氩气，1/4' VCR接头所有管路采用316L材质1/4’不锈钢管，内抛光处理；接口均为VCR卡套密封连接。 5个两通气动脉冲阀门，用于氩气气体及其4种单体蒸汽控制，进口，适合高低温环境要求，耐腐蚀，操作可靠。 4个手动阀，适合高低温环境要求，耐腐蚀，操作可靠。 4个微调阀，国产，用于控制单体微进气量，耐腐蚀，操作可靠。 6个热电偶，K型，国产，测量管道温度。 5条加热带，用于管道、抽气加热，加热温度为室温～200℃。 4个加热套，用于单体加热，加热温度为室温～200℃。 4个单体瓶，150ml

招标进度跟踪

2026-10-21

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2026-10-21

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