iCVD设备（JJ20260083号）延期公告

延期理由：

由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至2026-10-23 00:00

项目名称

iCVD设备

项目编号

****

公示开始日期

2026-10-21 00:01:05

公示截止日期

2026-10-23 00:00:00

采购单位

****（**）

付款方式

联系人

中标后在我参与的项目中查看

联系电话

中标后在我参与的项目中查看

签约时间要求

到货时间要求

报价方式

固定总价

预算

￥ 489,700

收货地址

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

公告说明

由于该项目报价供应商数量不满足要求，本项目延期至2026-10-23 00:00

采购物品

采购数量

计量单位

所属分类

引发式化学气相沉积（iCVD）设备

1

台

其他石油和化学工业设备

品牌

规格型号

预算

￥ 489,700

技术参数

真空沉积腔室为防腐不锈钢材料，盖子材料为石英，从石英盖子一端进气，另外一端抽气。
沉积腔体底板水冷，循环冷却水设计，可控制温度。
基片尺寸可达6英寸，兼容小尺寸基片。

腔体内部，基片台上方设置高温加热单元， 采用Ni合金加热(80%Ni+20%Cr)丝, 最高500℃，同时加热腔腔体壁；反应腔内（基片上方）温度均匀性不低于99%, 温度控制精度< ± 3℃；

采用触摸屏PLC控制，自动工艺控制软件，工艺参数实时监控。

镀膜控制系统采用触摸屏PLC控制，自动工艺控制软件，工艺参数实时监控。并且具备设备互锁功能，保证仪器操作安全；
允许用户自由设计薄膜配方。

铝合金型材框架，尺寸约为：（长×宽×高）800×700×1300mm；带可固定滑轮；具体尺寸以实物为准。

其他包含：
1个高精度数字对流真空计，国产，测量范围为大气压至10-1 Pa；0.5Pa-3.0×103Pa准确度为读数的±30%。接口为KF16。

1个气动充气阀，KF16，国产，**封气动充气阀门，用于真空快速充气。

1个气动闸板阀，KF40，国产，连接真空腔室和真空泵的阀门开关，控制系统的抽气

1个压力控制阀，**，控制工作气压在1~15 Torr

1台鲍斯干泵，IDSP36，极限真空：3Pa，抽速速率：10L/s，满载功率2.0kW，噪音比：72dB（A），重量120kg。

1台循环冷水机，温控范围为5-35摄氏度；冷却水量：8L；水泵功率：85W；水泵流量：15L/min；
单体输送系统
共5路，包含1路氩气气体与4路单体输送系统。
包含：
1个高精度气体质量流量计，国产，量程为300sccm，控制精度为±1%，工作温度为室温。用于控制氩气，1/4' VCR接头

所有管路采用316L材质1/4’不锈钢管，内抛光处理；接口均为VCR卡套密封连接。

5个两通气动脉冲阀门，用于氩气气体及其4种单体蒸汽控制，进口，适合高低温环境要求，耐腐蚀，操作可靠。

4个手动阀，适合高低温环境要求，耐腐蚀，操作可靠。

4个微调阀，国产，用于控制单体微进气量，耐腐蚀，操作可靠。

6个热电偶，K型，国产， 测量管道温度。

5条加热带， 用于管道、抽气加热，加热温度为室温～200℃。

4个加热套，用于单体加热，加热温度为室温～200℃。

4个单体瓶，150ml

售后服务